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物理涂層技術沉積溫度低,薄膜應力為壓應力,有效地克服了化學涂層技術的不足,因此,國際上物理涂層多元涂層技術得到了飛速發展。
國內在90年代后也開始了復合涂層技術哈默納科復合涂層機諧波齒輪箱CSF-8-30-1U的研究和硬質合金物理涂層技術的開發,目前已在CIT一830熱陰極極離子鍍膜機上成功地開發了TiCN涂層工藝,同時TiCN復合涂層技術也成功地用于硬質合金精密成形刀具的涂層,其涂層性能遠遠優于TiN單涂層哈默納科復合涂層機諧波齒輪箱CSF-8-30-1U,并且達到了批量生產水平。
近年來,硬齒面制造技術的發展居主導地位,相應地,硬齒面加工設備的發展令人目不暇接。蝸桿砂輪磨齒機以其加工精度高和哈默納科復合涂層機諧波齒輪箱CSF-8-30-1U生產率高在中小模數齒輪的大量生產中廣泛采用。成形磨齒機多用于加工大、中模數齒輪,近年來也進入了小模數齒輪的大批量生產領域,在齒形修整、加工精度、生產率和成本方面都顯出很強的競爭力。硬齒面滾齒機的出現,實現了用大負前角硬質合金滾刀滾切淬硬齒輪,當前多用于磨前的半精滾齒哈默納科復合涂層機諧波齒輪箱CSF-8-30-1U,從而減少磨削余量,縮短磨齒工時,達到降低成本的效果。近年來出現的內嚙合琦齒機誤差修整能力強,對降低噪聲有顯著效果,頗受汽車行業重視